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整机触控智能 PLC 控制系统，支持多组工艺配方存储切换，配备两路精密流量控制器(MFC)，气体流量精准可控，广泛应用于半导体封装、DBC 陶瓷基板、芯片键合前预处理、底部填充工艺、微电子元器件及衬底清洗、晶圆去胶等场合。